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Alicat MCS系列质量流量控制器
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商品介绍
详细参数
Alicat MCS系列质量流量控制器
- 多功能数字显示屏
- 显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
- 低压损,无需预热
- 316L不锈钢本体&传感器
- FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选
- RS-232多点式数字输入/输出(仅用于质量流量控制器)
- 0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
- 可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
- 内置39种气体可选 (30种惰性气体和9种腐蚀性气体)
- 200:1 量程可调比
- 可测量和控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量